Lasertec多功能高性能OPTELICS HYBRID+激光显微镜全面升级，追求真正实用性。能够应对多样化测量场景，为您的工作加力。

基于共聚焦3D测量技术，用于

  • 各种汽车零部件（金属结构件、树脂、皮革、玻璃）的表面粗糙度、形状管理
  • 各种电子元器件（芯片、加速传感器、电容电感、激光雷达部件）的3D微结构测量
  • OLED行业、晶振应用、SAW滤波器、半导体激光、太阳能电池、液晶面板、透明晶圆检查等。

共聚焦显微镜的原理

样品表面的反射光通过遮光板上的细孔到达检出器的光学系。点光源的照射光到达样品并聚焦时，其反射光也正好在细孔位置聚焦，这种设计因此称为“共聚焦光学系统“。样品表面的聚焦处，其反射光经细孔到达检出器；未聚焦处的反射光大部分被遮光板挡住，无法被检出。这种仅聚焦处的反射光被检出 的共聚焦光学系，被HYBRID+以及通常的激光显微镜所采用。

共聚焦光学系的优势

▎分辨率与对比度提升

与一般光学系相比，可去除周边的散射光的干扰，提高分辨率 的明暗对比度。

 

▎Z方向实现高分辨率

由于只有焦点位置的反射光被接收，其焦点深度非常浅，可实 现Z方向高分辨率观察（参考I-Z曲线），得到断层扫描图像。

光源

激光光源

采用可见光范围内短波长的405 nm紫色半导体激光，具有波长短，强度高的特点，保证高倍率·高对比度的观察。

白色光源

LED光与氙灯光源两种可选择

LED光源 长寿命，稳定性好，测试再现性优越

氙灯光源 接近太阳光光谱，对应多种测试需求

业内领先的性能指标

▎业内领先水平的测定速度

HYBRID+具有业内高水平的测定速度（帧率 15Hz ～ 120Hz），仅为一般激光显微镜的1/4， 在高速自动检测，动态观察等测试中优势显著。

▎业内领先精度

测试精度可以通过【准确度】与【再现性】两项 参数进行评价。HYBRID+在水平测定，高度 方向测定的准确度和再现性均达到高水准。